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芯达科技申请基于陶瓷加热器温度一致性的调整装置专利,便于对陶瓷加热器本体温度一致性的调整更加方便快捷

金融界 2025 年 5 月 10 日消息,国家知识产权局信息显示,沈阳芯达科技有限公司申请一项名为“一种基于陶瓷加热器温度一致性的调整装置”的专利,公开号 CN119946919A,申请日期为 2025 年 1 月。

专利摘要显示,本发明公开了一种基于陶瓷加热器温度一致性的调整装置,涉及晶圆生产技术领域。该种基于陶瓷加热器温度一致性的调整装置,包括设置在壳体顶部的陶瓷加热器本体,且壳体的底部设置有红外传感器,所述基于陶瓷加热器温度一致性的调整装置,还包括:移动机构,设置于所述壳体内,且移动机构上连接有移动架,用于对移动架进行移动;翻转机构,设置于所述移动架的侧壁。该种基于陶瓷加热器温度一致性的调整装置,能够对陶瓷加热器本体的局部部位进行单独加热升温以及冷却降温,从而便于对陶瓷加热器本体温度一致性的调整更加方便快捷,并且,能够对加热以及冷却过程中使用的高温油以及冷却液进行循环使用,避免浪费,更加节能环保。

天眼查资料显示,沈阳芯达科技有限公司,成立于2017年,位于沈阳市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本800万人民币。通过天眼查大数据分析,沈阳芯达科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目34次,财产线索方面有商标信息13条,专利信息50条,此外企业还拥有行政许可5个。

来源:金融界

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