中意知识网 中意知识网

当前位置: 首页 » 艺术生活 »

衡阳凯新申请一种适用于半导体的氮化硅陶瓷静电吸盘专利,保护陶瓷静电吸盘

金融界2025年5月16日消息,国家知识产权局信息显示,衡阳凯新特种材料科技有限公司申请一项名为“一种适用于半导体的氮化硅陶瓷静电吸盘”的专利,公开号CN119993895A,申请日期为2025年1月。

专利摘要显示,本发明涉及静电吸盘技术领域,且公开了一种适用于半导体的氮化硅陶瓷静电吸盘,包括:吸附层、电极层和基底层,所述吸附层设置于电极层的下部,所述基底层设置于电极层的上部;顶壳,设置于基底层的外部上端,所述顶壳的外部上端设置有密封圈;舵机,设置有两个,且两个舵机安装于顶壳上端的两侧,所述舵机的输出端安装有条壳,所述条壳的外部下端设置有驱动电机,所述驱动电机的输出端安装有驱动螺杆,所述驱动螺杆外部位于条壳的内部通过螺纹配合安装有L型内架,所述顶壳的外部左右两侧位于L型内架的下端分别设置有第二侧壳和第一侧壳。该发明通过设置使用驱动螺杆控制第一侧壳和第二侧壳闭合从而保护陶瓷静电吸盘。

天眼查资料显示,衡阳凯新特种材料科技有限公司,成立于2013年,位于衡阳市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本5936.9772万人民币。通过天眼查大数据分析,衡阳凯新特种材料科技有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目17次,财产线索方面有商标信息31条,专利信息268条,此外企业还拥有行政许可45个。

来源:金融界

未经允许不得转载: 中意知识网 » 衡阳凯新申请一种适用于半导体的氮化硅陶瓷静电吸盘专利,保护陶瓷静电吸盘