金融界2025年7月1日消息,国家知识产权局信息显示,卡贝尼新材料科技(上海)有限公司申请一项名为“一种用于氧化铝陶瓷零部件的化学清洗试剂及清洗方法”的专利,公开号CN120230608A,申请日期为2025年03月。
专利摘要显示,本发明公开了一种用于氧化铝陶瓷零部件的化学清洗试剂及清洗方法。所述化学清洗试剂包括有机酸、表面活性剂、螯合剂、氧化剂和去离子水。本发明针对14nm制程中氧化铝陶瓷零部件的特殊污染问题(如微量金属离子、纳米级颗粒和有机物),对化学清洗试剂配方进行了优化,能够高效去除陶瓷零部件表面的污染物,满足14nm制程的洁净度要求。本发明清洗方法包括预处理、化学清洗、漂洗和干燥步骤,具有环保、安全、不损伤陶瓷表面的优点,适用于半导体制造领域。
天眼查资料显示,卡贝尼新材料科技(上海)有限公司,成立于2017年,位于上海市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析,卡贝尼新材料科技(上海)有限公司参与招投标项目2次,专利信息27条,此外企业还拥有行政许可11个。
来源:金融界