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矩阵多元取得加热器及半导体设备专利,有效避免陶瓷高温开裂

金融界2025年7月5日消息,国家知识产权局信息显示,深圳市矩阵多元科技有限公司取得一项名为“一种加热器及半导体设备”的专利,授权公告号CN223067215U,申请日期为2024年08月。

专利摘要显示,本实用新型公开了加热器及半导体设备,属于半导体镀膜技术领域,加热器包括发热盘和加热丝,所述盘体采用陶瓷材料制成,所述加热丝采用铂铑合金材料制成。本实用新型的加热丝采用铂铑合金、盘体采用陶瓷材料,都能够耐受1000℃的高温,并且均具有出色的耐氧化性,因此能够有效满足高温有氧环境下的作业需求。同时,本实用新型中的发热盘由多个盘体拼接形成,能够有效避免陶瓷高温开裂的情况,从而确保在应用于半导体镀膜生产中,应对高温富氧环境下的使用寿命。并且,加热丝嵌在发热盘的燕尾槽内,在发热盘朝向下方时,可以避免加热丝脱出。

天眼查资料显示,深圳市矩阵多元科技有限公司,成立于2016年,位于深圳市,是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本1354.502万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市矩阵多元科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目85次,专利信息158条,此外企业还拥有行政许可13个。

来源:金融界

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