金融界2025年7月14日消息,国家知识产权局信息显示,河南天鉴金刚石工业有限公司申请一项名为“一种从硅晶圆上生长单晶钻石的方法”的专利,公开号CN120299986A,申请日期为2025年04月。
专利摘要显示,本发明涉及硅晶圆处理技术领域,且公开了一种从硅晶圆上生长单晶钻石的方法,该方法以硅晶圆的原子晶格为模板,将硅晶圆作为衬底,再以原子层沈积法逐层外延硅原子及碳原子,沈积时先外延硅,再逐层加入碳,经一百至一千层成为单晶钻石面硅晶圆,其碳/硅的比例由初始的零到最后的100%,从而获得单晶钻石面硅晶圆。本发明所述的从硅晶圆上生长单晶钻石的方法,使用即有的庞大硅晶圆产业,将硅晶圆作为衬底,以原子层沉积(ALD)法逐层外延,其气体成份为氢气稀释的硅烷及甲烷,沉积时先外延硅,再逐层加入碳,经一百至一千层成为单晶钻石面硅晶圆,这样就可将异质外延的应力降至最低,而单晶钻石则可继承液相拉晶生长硅晶的极少缺陷。
天眼查资料显示,河南天鉴金刚石工业有限公司,成立于2022年,位于漯河市,是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析,河南天鉴金刚石工业有限公司参与招投标项目4次,专利信息16条,此外企业还拥有行政许可4个。
来源:金融界